SF6氣體微量水分（微量濕度）的分析需要用到露點儀。儀器不同測試方法也不同。

比如利用阻容法檢測。它又稱之為電阻法，根據樣品中水分與電阻值和電容值的定量關系，將電阻值或電容值轉換成可測電量，通過對電量的測量得出被測樣品中的水分值。

冷鏡法的測試通過測定在單位時間內離開和返回鏡面的水分子數達到動態平衡時的鏡面溫度來確定氣體的露點。一定的氣體濕度對應一個露點溫度；一個露點溫度對應一定的氣體濕度。因此測定氣體的露點溫度就可以測定氣體的濕度。由露點可以得到絕對濕度，由露點和所測氣體的溫度可以得到氣體的相對濕度。

兩種測量方法都對是不同的測量儀器。阻容法用的是阻容法SF6氣體露點儀，采用阻容測量原理 （芬蘭維薩拉DMT系列傳感器）通過測量電抗的變化，可以得知被測氣體中濕度的大小。電力系統常用的阻容式濕度計一般檢測范圍為一60-O℃（露點），該類傳感器響應速度快，特別適合現場的連續在線檢測。

冷鏡法的露點儀采用自動冷鏡測量 （斯特林制冷原理）的測量方法，可以在環境溫度高達60℃的各種環境下，以露點±0.2℃的測量精度進行SF6氣體的微量水分檢測。通過光學系統，測溫電路，邏輯控制電路、數字顯示電路等，測量露點溫度Td，并顯示出來。

通過測試方法可以去選擇相應的露點儀，不管哪一款露點儀首先是要看準儀器的精度，精度達標測試數據才能標準。